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真空镀膜设备制造、汽车配件、橡塑制品生产与销售

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真空镀钛镀膜设备1

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  • 商品说明

真空镀黑设备镀制各种高质量的光滑的超硬膜层及装饰膜层,(不但可以镀氮化钛、氮化锆、氮化铝钛、氮化铬等等氮化物膜层,生成膜层光滑细腻,结合力高,硬度好,生成膜层速度快。我们的设备是按照客户需求进行定制的,我们会根据您的具体需求定制适合您的设备,具体细节请联系我们。


以下参数仅供参考



参数型号数量
真空室结构立式前开门,双层或冷却槽冷却

真空室尺寸ф800×1000
1
抽气速率1×105Pa~3×10-3Pa≤15min

极限真空≤8×10-4Pa

系统配套维持泵2X-151
机械泵2X-701
扩散泵KT-5001
工件系统工件系统                    行星式公自转形式(转轴数量8轴,可自定数量)
8
加热方式边缘安装不锈钢加热管加热
4
离子轰击20KW逆变偏压PLS-20KW1
弧靶40-200A可调TIG-2504
磁控靶数量2平面靶
2
中频电源20KW中频电源MF-20KW1
工作方式PLC半自动控制或PC+PLC全自动控制方式

工作气体Ar N2 O2

总功率30KW

压缩空气0.4~0.8MPa

水冷系统水压/水温:≤25℃/≥0.25MPa(用户自备)



适应广泛镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层附着力、致密度、重复度及颜色一致性好等特点。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAIN、CrN、CU、AU、金刚石膜(DLC)、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。


碳化钛、碳化锆等等氮化物和炭化物膜层,钛、锆、金、银、铝、铜等等原金属膜层,而且可以SIO2、SI3N4、AI203、Sn02、ZnO、Ta205、TI02等等膜层)炉内各种材料离化率为100%。


广泛应用于镀制各种工具和汽车配件硬膜及各种洁具、家具配件、手表配件等等表面特种颜色膜层装饰。


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