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玻璃制品镀膜设备

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  • 商品说明

参数        型号 数量
                真空室结构                立式前开门,双层或冷却槽冷却

真空室尺寸ф800×1000
                1
抽气速率                1×105Pa~3×10-3Pa≤15min

极限真空≤8×10-4Pa

系统配套                维持泵2X-15                1

机械泵2X-70                1

扩散泵KT-500                1
工件系统                工件系统                    行星式公自转形式(转轴数量8轴,可自定数量)
8
加热方式                边缘安装不锈钢加热管加热
4
离子轰击20KW逆变偏压PLS-20KW                1
磁控靶数量2平面靶
2
磁控电源20KW磁控电源MS-20KW                1
工作方式PLC半自动控制或PC+PLC全自动控制方式

工作气体Ar N2 O2

总功率30KW

压缩空气0.4~0.8MPa

水冷系统                水压/水温:≤25℃/≥0.25MPa(用户自备)

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